MappIR und Mapp300
Die beiden Automaten MappIR und Mapp300 zur Messung der gerichteten Reflexion und Transmission eignen sich insbesonders zur vollautomatischen Analyse von Halbleiterwafern. Mit ihrer Hilfe lassen sich die Wafer zerstörungs- und berührungsfrei auf ihren Gehalt an Kohlenstoff, Sauerstoff, BPSG, PSG und FSG hin untersuchen, ebenso SiNx:H-Schichten bezüglich ihres Wasserstoffgehalts charakterisieren sowie die Epitaxie- und III-V-Schichtdicken bestimmen.
Der Einbau der Automaten erfolgt direkt in den Probenraum von FTIR Spektrometern, wobei der Spektrometer-eigene Detektor genutzt wird. Während der MappIR Automat mit Wafern von 2 Zoll (50 mm) im Durchmesser bis max. 8 Zoll (200 mm) im Durchmesser bestückt werden kann, sind es beim Mapp300 Automaten bis 12 Zoll (300 mm). Die Einfallswinkel betragen 15° beim MappIR Automaten und 20° beim Mapp300 Automaten.
In der zum Lieferumfang gehörenden AutoPRO Software wird die Meßablaufgestaltung festgelegt und als Profil gespeichert. So können beim Mapp300 Automaten bis zu 320 Meßpunkte mit einem Durchmesser von 8 mm erfasst werden. Zusammen mit der Spektrometersoftware lassen sich zudem die nachgeschalteten Methoden zur Auswertung der IR-Spektren in Abhängigkeit der Probenposition automatisieren.