Fester Einfallswinkel

30° und 45° Einfallswinkel:

Mit den PIKE Reflexionsmeßzusätzen 30spec und 45spec (Einfallswinkel: 30° bzw. 45°) für die Messung gerichteter Reflexionen lassen sich viele Beschichtungen im Mikrobereich auf reflektierenden Oberflächen, spektrale Reflektivitäten von glänzenden Oberflächen (z.B. Lackharze), epitaxiale Schichten auf Halbleitermaterialien usw. zerstörungsfrei analysieren.

10° und 8° Einfallswinkel:

Der PIKE 10spec Meßzusatz verfügt über einen Einfallswinkel von 10°. Er wurde speziell für die Analyse von IR-inaktiven, hoch brechenden Materialien (z.B. beschichtete Gläser, Halbleiter etc.) entwickelt, um ihr Emissionsvermögen relativ zum schwarzen Körper nach ASTM-Norm E1585 zu bestimmen. Er eignet sich ebenso für andere Einsatzbereiche, in denen ein nahezu senkrechter Lichteinfall benötigt wird. Die parallele Strahlführung mit unendlicher Abbildung am Probenort sorgt zudem für einen konstanten Meßfleckdurchmesser von ca. 12 mm, unabhängig von Spektrometermarke und -modell. Der PIKE 8spec Meßzusatz verfügt über einen Einfallswinkel von 8°. Mit Hilfe von Aperturblenden kann der IR-Strahl bei beiden Meßzusätzen den Probenanforderungen entsprechend angepaßt werden.

80° Einfallswinkel:

Der PIKE 80spec Meßzusatz arbeitet mit einem Einfallswinkel von 80° (Streiflichtbedingungen). Besonders für Dünnfilmschichten auf Metallen ergeben sich enorme Vorteile: da die Intensität des reflektierten Lichtstrahls u.a. vom Einfallswinkel abhängt, wird sie (und damit die Absorption) umso höhere Werte annehmen, je größer der Einfallswinkel ist. Die Folge: die Intensitäten der Reflexions-Absorptions-Spektren (IRRAS-Spektren) werden wesentlich prägnanter. Durch den Einsatz von polarisiertem Licht unter Streiflichtbedingungen können ferner die Wechselwirkungen zwischen Probe und dem elektrischen Feldvektor ("Lichtvektor") studiert werden. Umgekehrt läßt sich mit polarisiertem Licht die Bandenintensität in schwierigen Fällen zusätzlich erhöhen (z.B. bei der Untersuchung von Monoschichten). Setzt man je einen Polarisator vor und hinter die Probe, lassen sich ellipsometrische Messungen durchführen.

80° Einfallswinkel (AGA80):

Bei Reflexionsmessungen hinterläßt der Lichtstrahl auf der Probe die Form einer Ellipse, wobei die Ausprägung der Ellipse durch den Einfallswinkel bestimmt ist. Mit dem PIKE AGA80 Meßzusatz (Advanced Grazing Angle) lassen sich Größe und Umriß des auf der Probe abgebildeten Spots durch eine variable Optik innerhalb des Meßzusatzes beeinflussen. Das Herz des AGA80 Meßzusatzes besteht aus fünf Punktspiegeln in verschiedenen Durchmessern, die auf einem beweglichen Schlitten montiert sind. Der Spektrometerstrahl wird auf den durch Verschieben des Schlittens jeweils im Strahlengang befindlichen Punktspiegel abgebildet, wobei der Einfallswinkel 80° beträgt. Derjenige Anteil, der vom Punktspiegel weiterreflektiert wird, gelangt über Umlenkspiegel geleitet unter dem Einfallswinkel von ebenfalls 80° auf die Probe. Dort hinterläßt der Spot die gleiche Form, wie sie durch den Punktspiegel vorgegeben wurde. Desweiteren ist der Meßzusatz für den Einsatz von Polarisatoren (z.B. zur Untersuchung von Monoschichten) vorbereitet.