Temp.-Bereich:
RT bis max. 1500 °C
Die Linkam Heizkammern der TS-Serie erreichen, je nach Konfiguration, eine Temperatur bis zu 1500 °C. Sie ermöglichen die mikroskopische Verfolgung und Dokumentation von Eigenschaftsänderungen an Werkstoffen unter extremen Bedingungen. Ein Beispiel ist die Metallurgie: Es können Gefügeumwandlungen, die Ausscheidung oder Auflösung von Gefügebestandteilen, Rekristallisationsprozesse und Keimbildungsvorgänge, Diffusions- und Sinterprozesse und vieles mehr sichtbar gemacht werden. Da die Kammer über gasdichte Anschlüsse verfügt, können Versuche unter Schutzgas oder einem Reaktivgas (ausgenommen Wasserstoff) durchgeführt werden. Optional sind Vakuum-Versionen (bis 0,001 mbar) mit NW16 Flanschen erhältlich. Auch eine Ausrüstung mit inneren Kontakten für den Anschluß von Elektroden ist möglich, um Leitfähigkeiten einer Substanz unter verschiedenen Bedingungen zu bestimmen oder das Verhalten unter Einfluß einer angelegten Spannung zu untersuchen.
Es stehen verschiedene Keramikofen-Innenabmessungen zur Auswahl:
- TS-1000, Innenabmessungen (Durchmesser x Höhe): 17 mm x 3 mm / max. Temperatur: 1000 °C
- TS-1200, Innenabmessungen (Durchmesser x Höhe): 10 mm x 5 mm / max. Temperatur: 1200 °C
- TS-1500-7/3, Innenabmessungen (Durchmesser x Höhe): 7 mm x 3 mm / max. Temperatur: 1500 °C
- TS-1500-7/6, Innenabmessungen (Durchmesser x Höhe): 7 mm x 6 mm / max. Temperatur: 1500 °C
Die Heizraten können jeweils zwischen 1 K/min und 200 K/min eingestellt werden.
Die Durchlicht-Apertur in Keramikofen und Hitzeschild beträgt jeweils 1,7 mm.
Um die Wärmeabstrahlungen möglichst gering zu halten, verfügen sowohl das Kammergehäuse als auch der Deckel stets über Anschlüsse für eine Wasserkühlung.
Eine weitere Version, die eine maximale Temperatur von 1400 °C erreicht, besitzt einen eingebauten XY-Kreuztisch mit einem Verfahrweg von jeweils 6 mm in X- und Y-Richtung. Es können Proben mit einer maximalen Größe von 5 x 5 mm bei 0,7 mm Dicke untersucht werden.
Die Temperaturstabilität liegt bei mindestens ±1 K. Es lassen sich lineare Heizraten zwischen 1 K/min und 200 K/min einstellen. Zu den besonderen Ausstattungsmerkmalen der Kammer gehört eine separate Kaltstelle. Hierüber lassen sich mittels eines speziellen Schiebers ausserordentlich hohe Quenchraten erzeugen, z.B. von 1400 °C mit bis zu 240 K/sec auf 800 °C oder von 1400 °C mit bis zu 230 K/sec auf 600 °C.
Ellipsometrie
Die Linkam Ellipsometrie-Kammern sind speziell für den Einsatz an spektroskopischen Ellipsometern ausgelegt. Mit der TS-EL1000 Kammer kann ein Temperaturbereich von Raumtemperatur bis 1000 °C abgedeckt werden. Die max. Heizrate beträgt 200 K/min, die Temperaturstabilität mind. ±1 K. Der Keramikofen kann Proben mit einer max. Abmessung von 17 x 3 mm (Durchmesser x Dicke) aufnehmen. Zur Schaffung einer Schutzgas- oder einer anderen, kontrollierten Atmosphäre enthält die Kammer selbstschliessende Gasanschlüsse. Um die Wärmeabstrahlungen möglichst gering zu halten, verfügen sowohl das Kammergehäuse als auch der Deckel jeweils über Anschlüsse für eine Wasserkühlung. Je nach Spektralbereich können verschiedene Fenstermaterialien eingesetzt werden.