Reflexion
Die exakte Bestimmung der Schichtdicke von dünnen Folien, Membranen, Epitaxieschichten etc. sowie die Bestimmung des Brechnungsindex hängen eng miteineinander zusammen. Ist der Brechungsindex bekannt, läßt sich aus einer einzelnen Reflexionsmessung (bei geeignetem Einfallswinkel) die Schichtdicke bestimmen. Ist der Brechungsindex unbekannt, müssen zwei Reflexionsmessungen bei unterschiedlichen Einfallswinkeln durchgeführt werden. Der große Vorteil von Reflexionsmessungen: Bei der Dickenbestimmung braucht die Schicht nicht verändert oder zerstört zu werden.
Die klassische Methode nutzt die der Spiegelreflexion (gerichtete Reflexion), da diese Messung vollkommen berührungslos erfolgt. Mit dem PIKE VeeMAX Meßzusatz lassen sich solche Aufgaben sehr effizient lösen: Die Probe wird horizontal auf die Meßzusatz-Vorlage gelegt, der Einfallswinkel kann kontinuierlich zwischen 30° und 80° eingestellt werden.
Neben der Spiegelreflexion gehört auch die ATR-Technik (Abgeschwächte Total-Reflexion) zu den Reflexionstechniken. Auch hierbei lassen sich die gleichen Methoden anwenden, nur mit dem Unterschied, daß die Probe auf den ATR-Kristall gelegt wird und eine Andruckpresse für einen guten Kontakt zwischen Probe und ATR-Kristall sorgt. Darauf basierend kann der VeeMAX Meßzusatz mit ATR-Kristallen, die eine interne Reflexion erzeugen und einen Durchmesser von 20 mm aufweisen, sowie einer Andruckpresse ausgerüstet werden.
Eine zweite Möglichkeit bietet sich mit dem ATRMax Meßzusatz. Sein kontinuierlich einstellbarer Einfallswinkel reicht von 25° bis 65°. Im Unterschied zum VeeMAX Meßzusatz mit ATR-Kristall bietet der ATRMax Meßzusatz ATR-Kristalle in den Abmessungen 56 x 10 mm mit bis zu 12 internen Reflexionen zur Optimierung des Signal/Rausch-Verhältnisses.